FILMES FINOS: DEPOSIÇÃO, CARACTERIZAÇÃO E APLICAÇÕES
Angelo L. Gobbi
Laboratório Nacional de Nanotecnologia (LNNano), Centro Nacional de Pesquisa em Energia e Materiais (CNPEM), Campinas, SP.
Pedro Augusto de Paula Nascente
Departamento de Engenharia de Materiais (DEMa), Universidade Federal de São Carlos (UFSCar), São Carlos, SP.
Nazir Monteiro dos Santos
Laboratório Associado de Plasma (LAP), Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE), São José dos Campos, SP
Duração: 8 h
Dias: 09/10/2016 (domingo)
Das 8:00 às 12:00 e das 14:00 às 18:00
Conteúdo: Introdução; Vácuo: Definições e usos; Plasma: Definições e usos; Limpeza de substratos; Métodos de deposição; Análise de Superfícies: conceitos básicos; Espectroscopia de fotoelétrons excitados por raios X (XPS); Espectroscopia de elétrons Auger (AES); Análise qualitativa; Análise quantitativa; Aplicações: superfícies modificadas, filmes finos e revestimentos.